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2013年09月17日16:40 | 中國發(fā)展門戶網(wǎng) www.chinagate.cn | 給編輯寫信 字號：T|T

 

附件1

2014年項目指南說明

1. 項目任務(wù)：40nm集成電路制造用300mm硅片技術(shù)研發(fā)

項目編號：2014ZX02405

項目類別：材料技術(shù)研發(fā)

項目目標(biāo)：

1） 研究開發(fā)300mm硅單晶生長、硅片加工、外延片制備、硅片分析檢測等300mm硅片產(chǎn)業(yè)化全套生產(chǎn)技術(shù)，滿足40nm集成電路生產(chǎn)線產(chǎn)品技術(shù)要求，通過用戶企業(yè)驗證考核及供應(yīng)商資質(zhì)認(rèn)證，實現(xiàn)批量供貨；

2） 承擔(dān)企業(yè)應(yīng)有月產(chǎn)不低于10萬片300mm硅片的投資與實施計劃，構(gòu)建與集成電路行業(yè)國際先進(jìn)水平接軌的技術(shù)和管理人才團(tuán)隊，建立完善的技術(shù)開發(fā)、生產(chǎn)運(yùn)行、品質(zhì)管理、市場開拓運(yùn)行體系；

3） 項目完成時，月銷售不低于1萬片。

項目承擔(dān)單位要求：中國大陸境內(nèi)注冊的、具有獨立法人資格的硅片制造企業(yè)。

組織實施方式：公開發(fā)布、擇優(yōu)支持

資金來源：中央：地方：企業(yè)=1:0.5:1，前立項后補(bǔ)助

執(zhí)行期限：2014-2016

2. 項目任務(wù)：電子級多晶硅材料研發(fā)

項目編號：2014ZX02404

項目類別：材料技術(shù)研發(fā)

項目目標(biāo)：針對40nm集成電路用12英寸硅單晶產(chǎn)品要求，研究開發(fā)電子級多晶硅生產(chǎn)技術(shù)，提升產(chǎn)品品質(zhì)，產(chǎn)品純度高于11N；本征基磷電阻率高于500 Ohmcm, 本征基硼電阻率高于5000 Ohmcm；碳含量低于80ppba；體金屬總含量小于1.5ppbw；表面金屬含量要求：Fe小于0.25ppba、Cu小于0.025 ppba、Ni小于0.04 ppba、Cr小于0.045 ppba、Zn小于0.09 ppba、Na小于0.98 ppba、Al小于0.52 ppba、K小于0.43 ppba；通過硅片生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品驗證考核與供應(yīng)商資質(zhì)認(rèn)證，簽訂長期供應(yīng)合同，集成電路硅片用多晶硅年銷售不低于200噸。

項目承擔(dān)單位要求：中國大陸境內(nèi)注冊的、具有獨立法人資格的多晶硅制造企業(yè)。

組織實施方式：公開發(fā)布、擇優(yōu)支持

資金來源：中央：地方：企業(yè)=1:0.5:1，后立項后補(bǔ)助

執(zhí)行期限：2014-2016

3. 項目任務(wù)：先進(jìn)裝備與材料在AMOLED領(lǐng)域中的應(yīng)用開發(fā)

項目類別：裝備技術(shù)研發(fā)

項目編號：2014ZX02601

項目目標(biāo)：基于 02專項在集成電路裝備、材料等領(lǐng)域研發(fā)取得的相關(guān)技術(shù)，支持在AMOLED等新型顯示領(lǐng)域開發(fā)應(yīng)用，推動新型顯示裝備、材料開發(fā)應(yīng)用，提升顯示產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力。

重點支持：

1. AMOLED設(shè)備應(yīng)用：面向G4.5及以上AMOLED等平板顯示領(lǐng)域需求，針對新型顯示領(lǐng)域?qū)饪虣C(jī)、刻蝕機(jī)、PVD、CVD、清洗機(jī)、激光退火等要求，聯(lián)合集成電路裝備企業(yè)開展相關(guān)技術(shù)的應(yīng)用開發(fā)及工藝驗證，用過用戶考核，形成批量制造能力并實現(xiàn)銷售；

2. AMOLED材料應(yīng)用：針對G4.5及以上平板顯示領(lǐng)域?qū)﹃P(guān)鍵材料的要求，聯(lián)合集成電路靶材、特種氣體、顯影液、刻蝕液、光刻膠等關(guān)鍵材料企業(yè)，進(jìn)行相關(guān)技術(shù)的應(yīng)用開發(fā)及工藝驗證，通過用戶考核，實現(xiàn)關(guān)鍵材料的長期供貨。

項目承擔(dān)單位要求：中國大陸境內(nèi)注冊的、具有獨立法人資格的大型平板顯示產(chǎn)品制造企業(yè)，聯(lián)合裝備、材料企業(yè)和研究單位承擔(dān)。

組織實施方式：公開發(fā)布，擇優(yōu)支持

資金來源：國撥：地方：企業(yè)＝1 : 0.5：1

項目周期：2014－2016

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